日前，由我院与中国科学院重庆绿色智能技术研究院、珠海迈时光电科技有限公司、张家港奇点光电科技有限公司、苏州伽蓝致远电子科技股份有限公司联合申报的“连续面形微光学芯片关键技术与应用”项目荣获2022年第八届“中国光学工程学会科技创新奖”科技进步一等奖。该项目我校为第一完成单位，夏良平教授为第一完成人。
连续面形微光学芯片是光学元器件小型化、集成化的产物，在军事装备、光通信、工业加工与测量、人工智能终端等领域应用广泛。研发团队针对其共性技术难题，创新性地提出了基于自由曲面连续面形子口径与空间啁啾调制随机阵列排布相结合的微光学芯片结构，突破了消相干、高占空比连续面形微结构设计难题；提出了掩模移动时空调制光刻技术制备连续面形微光学芯片的工艺方法，开发了光刻设备和配套的规模化生产工艺，突破了连续面形微光学芯片规模化生产技术瓶颈；开发的连续面形微透镜阵列芯片占空比近100%、面形RMS≤5nm、表面粗糙度≤4nm、阵列内曲率半径一致性≤±0.7%，所开发的连续面形微光学芯片使3D-TOF空间三维传感摄像头距离探测精度误差≤1.4%、使近紫外LED平行光曝光光源曝光面均匀性≥98.3%、平行半角≤0.82度，关键指标达到国际先进水平。该项目实现了在数字光通信、智能3D摄像头、近紫外LED曝光机等领域的推广应用，带动了行业科技进步，促进了经济发展。
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