微纳光电器件与智能感知系统重点实验室

发布者：电子信息工程学院发布时间：2023-10-20浏览次数：4587

该方向以国家及地方在智能化微纳结构器件、装备系统及智能电子、光通信、清洁能源、安全等领域的重大需求为牵引，开展智能感知理论、微纳制造工艺与智能光电器件、以及系统集成与应用研究，解决智能化领域面临的共性技术难题，为区域产业发展提供支撑。

1.研究内容

（1）紧密围绕光芯片技术的科学和技术问题，进行前沿及共性技术攻关。

（2）在共性技术的突破下，开展系列替代进口、技术含量高的光芯片研发。

（3）以所开发的光芯片为核心，合作开发符合国家重大需求和国民经济主战场的各类智能化系统。

2.科研团队

团队由微纳光学领域学科带头人杜春雷教授领衔，现有团队成员30余人。其中，拥有“新世纪百千万人才工程国家级人选”1人、国家“千人计划”特聘教授1人、重庆市高校巴渝学者2人、重庆市学术技术带头人后备人选2人。

3.科研条件

在纳米结构制造方面，实验室拥有8nm特征尺寸6寸晶圆大面积电子束快速制备能力、金属及化合物干法刻蚀加工能力和纳米结构器件规模化复制制造能力，可实现纳米光学芯片新产品设计、打样和规模化制造工艺开发。现有科研用房面积1500余平方米，固定资产总值3000余万元，拥有8纳米特征尺寸晶圆级工程化加工能力的高精度大面积电子束曝光系统、ICP刻蚀机、掩膜移动曝光机、划片机、电子显微镜等科研设备，覆盖纳米光芯片大面积工程化加工、检测需求，可支撑实验室纳米结构光芯片的工程开发和成果应用转化。